VIC-D210 韩国MKP气体质量流量计

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MKP气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入，直拉式晶炉，精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制产业、设备、气相色谱仪等相关行业。
MKP致力于为客户提供的仪器仪表及精密稳定的过程控制设备。公司自成立以来，以灵活的经营机制，为客户提供加化的、的服务，深受各界用户的欢迎，并且在石油、化工、电力等行业做出了。如今产品美国、澳大利亚、波兰、日本、、伊朗、新加坡、中国和印度等。我们将一如既往的为所有的客户提供、的服务。

VIC-D210&VIC-D220数字型质量流量控制器
VIC-D200系列是采用数字控制回路，保证了响应和高准确度，可以选择多种附加功能。
特性：
全系列的快速响应时间
高度和稳定性
FTPE密封应用
优化气门结构于有毒或易燃气体应用
通过压力传感器的安装可实时监控压力
型号：
IC-D0200系列
VIC-D210，VIC-D220，VIC-D240，VIC-D245，VIC-D145，VIC-D150 
TSM-D系列：
TSM-D210，TSM-D220，TSM-D230，TSM-D240，TSM-D245，TSM-D250，TSM-D2*0，TSM-D250，TSM-D220D    TSC-D Series  TSC-D230，TSC-D245，TSM-D250，TSC-D210，TSC-220，TSC-245，TSC-200，TSC-230，TSC-145，TSC-150，TSC-210

产品使用注意事项：
请使用已制造配置的气体。
如果用其他配置气体是导致产品故障，测量的误差，漏泄的原因。
请不要混入其体内不混物和水分。
如果混入不混物和水分时导致产品故障，测量的误差原因。
请使用合适的流量范围，压力（参考制造配置），温度（ 5~50℃）的条件。
产品分离是请注意产品内部的残留气体。
如使用爆炸性或腐蚀性气体必需充分后分离。
电源供给时不要动手电源部。为了精密测量先预热15~30分钟后使用产品。

产品参数：
VIC-D200 Series
因适用PTFE DISK，整个区间的回应时间快
对毒性和腐蚀性气体的耐久性大幅增加
采用浪涌及耐电压保护电路
通过温度补正，在周围温度变化下也可维持准确度
流量范围（N2标准）：5sccm~1.5slm
流量控制器范围：满量程：2~100%
准确度：满量程≤±1%
回应时间：≤ 1.0 sec (10 ~ 100%)
线性: 满量程的≤ ± 0.2%
运转原理：热式
控制阀形势：Normally Closed Solenoid
输入输出信号：模拟性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA
数字型: RS-4*5(Optional : DeviceNet, EtherCat)
电源供应：+15VDC ~ +24VDC
运转温度：5 ~ 50℃ (建议温度范围: 15 ~ 35℃)
连接器：Standard : D-SUB 9 pin Male
Optional : DeviceNet Micro style Connector, RJ45
重量：1KG