韩国MKP气体质量流量控制器

韩国MKP气体质量流量控制器 产品广泛应用于半导体，显示器，燃料电池，气体产业等制造工程，为韩国的事业发展做出贡献

产品介绍：
VIC-D200 Series
因适用PTFE DISK，整个区间的回应时间快
对毒性和腐蚀性气体的耐久性大幅增加
采用浪涌及耐电压保护电路
通过温度补正，在周围温度变化下也可维持准确度
产品配置
流量范围(N2 标准)：50~200slm
流量控制范围：满量程的2 ~ 100
准确度：满量程的≤ ± 1%
回应时间：≤ 1.0 sec (10 ~ 100)
线性：满量程的≤ ± 0.2%
运转原理；热式
控制阀形式：Normally Closed Solenoid
密封种类:Elastomer (Viton, Viton-ETP , Kalrez, etc.)
输入输出信号：模拟性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA
数字型: RS-485(Optional : DeviceNet, EtherCat)
电源供应：+15VDC ~ +24VDC
运转温度；5 ~ 50℃ (建议温度范围: 15 ~ 35℃)
连接器；Standard : D-SUB 9 pin Male 
Optional : DeviceNet Micro style Connector, RJ45
重量 2kg

Sccm、slm是显示标准气体流量(mL/min，L/min，at 0'C101.3kPa)的符号。

VIC-D系列，型号：VIC-D210  VIC-D220  VIC-D240  VIC-D245  VIC-D145  VIC-D150 
TSM-D系列，型号：TSM-D200  TSM-D200  TSM-D210  TSM-D220  TSM-D230  TSM-D240  TSM-D245  TSM-D250  TSM-D200